中水回用处理的主要途径有以下几种
1、回用于工业
污水处理厂达标排放的废水，根据用途的不同可直接或再经过进一步处理达到更高的水质后应用于工业生产过程中，如用做冷却水，熄焦、熄炉渣用水，特种材料行业水设备销售，灰渣水力输送用水，工厂绿地浇洒，地面、设备、车辆冲洗，消防用水，其中最‘具普遍性和代表性的用途是工业冷却用水。
2、城市杂用
城市中水回用技术应用途径主要有以下几个方面：一是城市生活冲厕用水，特种材料行业，二是城市部分商业用水(如洗车行业)，三是道路喷洒用水与城市绿地灌溉，四是非接触性景观中水与消防用水等。其中，城市生活用水是比较稳定的用水渠道，道路喷洒用水与城市绿地灌溉具有一定的季节性。
电子工业用超纯水设备的工艺流程
半导体集成电路芯片及封装和液晶显示及高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水和超纯水清洗半成品以及成品。集成电路的集成度越高对水质的要求也越高。伴有对硅、尘粒、有机碳、微生物等物质含量的要求各不一，特种材料行业用水设备，目前我国电子工业部专把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
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