洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
有些场合，对高效过滤器使用的规定不是出于对阻力的考虑，而是其它因素，若厂房中有氢氟酸，而车间空调又不是全新风系统，高效过滤器的玻璃纤维滤纸就会受到回风的腐蚀。为了安全，必须定期更换高效过滤器。目前，国内部分三级甲等医院和制药厂，每年雨季过后都会主动更换高效过滤器，主要目的就是防止过滤器上有任何可能的霉菌污染。有些国家三级甲等医院、制药厂的生物实验室和与危险品打交道的实验室，在开展一项新的生要课题前，为了保证安全可靠，都会使用新的高效过滤器。
