风量、换气次数、静压差
在洁净室体积确定的情况下，换气次数由该室的送风量决定，而静压差取决于房间的送风量与回风量、排风量的差值。系统总送风量、新风量、总排风量和对外压差可以通过调整风机频率转速或总阀门开启度来实现，各房间的风量和压力则可通过调整分支管路阀门开度来实现。
实际检测过程中发现，在通过调节支管风阀对某间换气次数不合格洁净室进行送风量调节时，往往会使同一洁净区其余的洁净室送风量改变，即打乱了整个洁净区的风量分配，从而使问题变得更为复杂。另外还常遇到换气次数合格而压差不合格，这种情形在二更***常见。主要原因在于护围结构气密性较差和回风口栅格不易调节。
空气净化工程在提高产品质量等方面有很明最的效果，据国外文献的报导，对于半导体在10000级和l00级洁净室中制造的产品通过耐压试验，在l00级洁净室和外大气环境中进行晶体管涂布扩散，100级洁净室中产品的性能分布集中，而且峰值出现在更高性能的地方。而在大气环境中的产品的性能极为分散，性能也极不稳定。可以看出，①有无空气净化，产品成品率有很大差别，②为了提高产品质量，不仅生产产品的环境需要洁净，而且其关键的原材料、配料的生产也应在洁净环境中进行．
